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簡(jiǎn)要描述：VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。
產(chǎn)品型號(hào)： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-02-10訪 問 量：4437詳細(xì)介紹
VTC-2RF是一款小型的射頻（RF）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。
我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
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等離子源 | 一個(gè)300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)
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磁控濺射頭 |
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真空腔體 |
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載樣臺(tái) |
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真空泵 | 可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國(guó)制作的分子泵系統(tǒng) |
薄膜測(cè)厚儀 |
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外形尺寸 | |
質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證 |
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使用注意事項(xiàng) |
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產(chǎn)品咨詢
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