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簡要描述：VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型），配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價并且高效的實(shí)驗幫手。
產(chǎn)品型號： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-02-10訪 問 量：4791相關(guān)文章
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VTC-1RF是一款小型臺式單靶等離子濺射儀(射頻磁控型)，配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價并且高效的實(shí)驗幫手。
我們用此設(shè)備得到擇優(yōu)取向的ZnO薄膜
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
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等離子源 |
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磁控濺射頭 |
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真空腔體 |
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載樣臺 |
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真空泵 | 可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng) |
薄膜測厚儀 |
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質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證 |
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使用注意事項 |
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