• 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞
• 可以通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
• 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為400℃
• 管式爐zui高工作溫度為1100℃
• 帶有預(yù)熱爐，zui高溫度為1100℃，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區(qū)滑軌爐
 

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• 連續(xù)工作zui高溫度為1100℃
• 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命(點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）
• 兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序
• 每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm
• 總溫區(qū)長(zhǎng)度：400mm
• 恒溫區(qū)：200mm(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）
• 兩個(gè)溫區(qū)zui大溫差為：400℃
• 爐管材料：高純石英管
• 石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L
• 所需電源: 208 – 240V AC單相
• zui大功率： 4KW

等離子射頻發(fā)生器
 

• 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
• 穩(wěn)定性為：+/-1%
• 射頻電源頻率：13.56 MH, 穩(wěn)定性±0.005% 
• zui大反向功率: 200W 
• 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半導(dǎo)體, 陰極
• 噪音:<50 dB.
• 冷卻方式：空氣冷卻
• 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  

預(yù)熱爐

• 一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm
• zui高溫度:  1100ºC
• 可設(shè)置30段升降溫程序
• 控溫儀表操作視頻
• 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐
• 也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
  

防腐型數(shù)顯真空計(jì)
 

• 測(cè)量范圍3.8x10^-5 至 1125 Torr
• 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，可獨(dú)立測(cè)量各種氣體，不必做校正（包括混合氣體）
• 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性
• 信號(hào)響應(yīng)時(shí)間較短（≤30ms)
• 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇蟹栏繉?，所以具有較好的抗腐蝕性

真空泵和閥

• 可以從本公司選購以下幾種真空泵
• 如您想獲得更高的真空度(<10^-5 torr or better) 可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
• 配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件
•           

電動(dòng)滑軌

• 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果
• 滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升溫和降溫速率

• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買）
• 為了獲得zui大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

可選

可以選購2-4通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)（精度1.5%）

外形尺寸

• 爐體: 550 x 380 x 520  mm 
• 滑軌長(zhǎng)度：1750 mm 

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包括爐管、密封圈和加熱元件）

    CE Certified

• 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
• 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
• 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
• 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃
• 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）