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當(dāng)前位置：首頁   >  產(chǎn)品中心  >  薄膜制備全套設(shè)備  >  濺射源及真空腔體  >  2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

2英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-2-LD

簡要描述：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2025-02-10
  • 訪  問  量：2838

詳細(xì)介紹

    HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。


技術(shù)參數(shù)

特征

(點擊圖片查看詳細(xì)資料）

 

  • 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作
  • 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布
  • 磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命
  • 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配
  • 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作
  • 更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度

所需功率

  • DC（zui大）1000W
  • RF（zui大）500W

zui大濺射電流

3A

濺射電壓

100-1000 V

濺射時腔體真空度

5-100 mTorr

濺射均勻性曲線圖

尺寸

  • 陽極護(hù)套直徑：3.5英寸
  • 總長度：14英寸

靶材

  • 直徑: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度: 對于非磁性靶材，zui大厚度為1/4英寸
                  對于磁性靶材，zui大厚度為1/16英寸
  • 靶材利用率：30%
  • 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水

  • 流速:   0.8 GPM
  • 進(jìn)水溫度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可選配件

  • 當(dāng)同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭
  • 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

 

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