18255163376
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 薄膜制備全套設(shè)備 > 濺射源及真空腔體 > 1英寸高真空磁控濺射頭--HVMSS-SPC-1-LD
簡要描述：HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控濺射頭，可安裝直徑為1英寸的靶材?？膳c直流、脈沖直流和射頻電源相匹配，以至于可以濺射各種靶材（如金屬、陶瓷、磁性和非磁性靶材等）。而且高真空的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可提高鍍膜質(zhì)量。
產(chǎn)品型號(hào)： 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-02-10訪 問 量：3407詳細(xì)介紹
HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控濺射頭，可安裝直徑為1英寸的靶材?？膳c直流、脈沖直流和射頻電源相匹配，以至于可以濺射各種靶材（如金屬、陶瓷、磁性和非磁性靶材等）。而且高真空的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可提高鍍膜質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)
特點(diǎn)
|
|
濺射頭
（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料） |
|
所需功率 | DC (zui大) 250 W RF （zui大）100 W |
zui大陰極濺射電流 | 3A |
陰極濺射電流 | 200 - 1,000 V |
可選壓力范圍 | ~1 mTorr 至1 Torr |
濺射厚度均勻性圖
|
|
水冷卻
|
|
接頭 |
|
產(chǎn)品長度 | 14英寸（355.6mm) |
產(chǎn)品重量 | 1.36kg |
傾斜裝置 |
|
可選配件 |
|
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期終生維護(hù) |
應(yīng)用 |
|
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系我們
中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司 公司地址：安徽省合肥市蜀山區(qū)科學(xué)院路10號(hào) 技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)掃一掃 更多精彩
微信二維碼
網(wǎng)站二維碼
歡迎來到
?
