多功能試樣表面處理機(jī)是用于掃描電子顯微鏡和電子探針的樣品制備的設(shè)備。它可以在高純氬氣的保護(hù)下進(jìn)行各種離子處理，也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮。通過該設(shè)備處理的樣品可用于外觀觀察和樣品成分分析，尤其是成分的定量分析更適合。采用分子泵系統(tǒng)，特別適合真空度要求高，真空環(huán)境良好的用戶。

　　多功能試樣表面處理機(jī)在高純氬氣的保護(hù)下，它可以進(jìn)行各種離子處理。也可以對(duì)碳和金屬進(jìn)行真空蒸煮。用該設(shè)備處理的樣品可用于樣品的形態(tài)觀察和成分分析。尤其是成分的定量分析更適合。該設(shè)備采用由分子泵和機(jī)械泵組成的高真空單元系統(tǒng)。樣品以三種方式移動(dòng)：平面旋轉(zhuǎn)，傾斜旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng)。 

　　多功能試樣表面處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域：離子噴涂，離子濺射，離子清洗，碳的真空蒸鍍，金屬的真空蒸鍍等。它是一種適用于樣品制備的多功能機(jī)器，如掃描電子顯微鏡，電子探針和透射電子顯微鏡。它具有真空蒸發(fā)臺(tái)，離子濺射和蝕刻裝置的多種復(fù)合功能，以及可進(jìn)行多次移動(dòng)的樣品臺(tái)。它可以在平面上旋轉(zhuǎn)，沿傾斜方向旋轉(zhuǎn)和傾斜進(jìn)動(dòng)。它可以對(duì)樣品執(zhí)行各種處理，例如：離子噴涂（在氣體電離條件下為真空蒸發(fā)），離子濺射，離子蝕刻，離子清洗和離子稀化，還可以進(jìn)行真空蒸發(fā)和碳蒸汽處理。因此，它適用于金屬和合金樣品的制備。

　　1、鐘罩尺寸：內(nèi)徑Φ250mm×高340mmØ玻璃處理室：內(nèi)徑Φ88mm×高140mmØ內(nèi)徑：Φ88mm×高57mm。

　　2、樣品臺(tái)尺寸：Φ40mm。

　　3、金靶尺寸：Φ38mm。

　　4、真空度：優(yōu)于2×10-3Pa。

　　5、樣品移動(dòng)方式：平面旋轉(zhuǎn)，傾斜旋轉(zhuǎn)，傾斜進(jìn)動(dòng)Ø真空系統(tǒng)：由分子泵和機(jī)械組成的高真空泵單元。

　　6、真空檢測：熱電偶表，冷表。